B

電気化学反応可視化コンフォーカルシステム
ECCS B320

ウェハバンプ検査測定装置
BIM300

TSV裏面研磨プロセス測定装置
BGM300

EUVマスク裏面検査/クリーニング装置
BASICシリーズ

E

ウェハエッジ検査装置
EZ300

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
ABICS E120

G

GaNウェハ欠陥検査/レビュー装置
GALOIS211

FPDフォトマスク欠陥検査装置
CLIOS G10シリーズ

FPDフォトマスク欠陥検査装置
CLIOS G8シリーズ

H

レーザーマイクロスコープ
OPTELICS® HYBRID+

レーザーマイクロスコープ
OPTELICS® HYBRID

L

多波長ウェハ検査装置
LXシリーズ

FPDマスクブランクス欠陥検査装置
LBIS Series L852/L1052

M

ウェハ欠陥検査/レビュー装置 
MAGICSシリーズ M5640

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM9650/M9651

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM8650/M8651

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M8350/M8351

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6640S/M6641S

位相差/透過率測定装置 
MPM193EX

位相シフト量測定装置 
MPM248

位相差測定装置
MPM365gh

P

CLIOS用ペリクル検査/貼り付けシステム
71PA CM

CLIOS用ペリクル検査/貼り付けシステム
51PA CM

S

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置  
SICA88

T

塗工ムラスキャニングシステム
TSS20

V

超高温観察レーザー顕微鏡システム
VL2000DX-SVF17SP

X

マスク欠陥検査装置
MATRICS X8ULTRAシリーズ

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810EXシリーズ

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810シリーズ

1

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
ABICS E120

FPDフォトマスク欠陥検査装置
CLIOS G10シリーズ

位相差/透過率測定装置 
MPM193EX

FPDマスクブランクス欠陥検査装置
LBIS Series L852/L1052

2

塗工ムラスキャニングシステム
TSS20

超高温観察レーザー顕微鏡システム
VL2000DX-SVF17SP

位相シフト量測定装置 
MPM248

3

電気化学反応可視化コンフォーカルシステム
ECCS B320

ウェハエッジ検査装置
EZ300

ウェハバンプ検査測定装置
BIM300

TSV裏面研磨プロセス測定装置
BGM300

位相差測定装置
MPM365gh

5

ウェハ欠陥検査/レビュー装置 
MAGICSシリーズ M5640

CLIOS用ペリクル検査/貼り付けシステム
51PA CM

6

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6640S/M6641S

7

CLIOS用ペリクル検査/貼り付けシステム
71PA CM

8

マスク欠陥検査装置
MATRICS X8ULTRAシリーズ

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810EXシリーズ

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810シリーズ

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM8650/M8651

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M8350/M8351

FPDフォトマスク欠陥検査装置
CLIOS G8シリーズ

FPDマスクブランクス欠陥検査装置
LBIS Series L852/L1052

9

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM9650/M9651